полив (в полупроводниковых приборах)

 

полив (в полупроводниковых приборах)
Процесс, используемый для нанесения фоторезиста на поверхность подложки.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• spinning